Dynamisk skanningsoptisk systemoptik: 1 st liten fokuslins, 1-2 st fokuslins, Galvo-spegel. Hela den optiska linsen bildar en funktion av strålutvidgning, fokusering och strålavböjning och skanning.
Den expanderande delen är en negativ lins, dvs. en liten fokuslins, som möjliggör strålexpansion och rörlig zoom, medan fokuslinsen består av en grupp positiva linser. Galvospegeln är en spegel i galvanometersystemet.
(1) Optimering av linsdesign: Optimalt förhållande mellan diameter och tjocklek
(2) Högt gränsvärde för linsskador: >30J/cm2 10ns
(3) Ultralåg absorptionsbeläggning, absorptionshastighet: <20 ppm
(4) Galvanometerns tjocklek/diameterförhållande: 1:35
(5) Linsytans noggrannhet: <= λ/5
Postobjektivlins
| Maximal ingångspupill (mm) | Optik 1 Diameter (mm) | Optik 2 Diameter (mm) | Optik 3 Diameter (mm) | Skanningsfält (mm) | Klar bländare av skannern (mm) | Våglängd |
| 8 | 15 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 10,6 um |
| 12 | 22 | 55 | 55 | 1600x1600 | 30 | |
| 8 | 16 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 1030–1090 nm |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 532 nm |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 355 nm |
Reflektorspegel
| Delbeskrivning | Diameter (mm) | Tjocklek (mm) | Material | Beläggning |
| Kiselreflektor | 25,4 | 3 | Kisel | HR@10.6um,AOI: 45° |
| Kiselreflektor | 30 | 4 | Kisel | HR@10.6um,AOI: 45° |
| Fiberreflektor | 25,4 | 6,35 | Smält kiseldioxid | HR@1030-1090nm, AOI: 45° |
| Fiberreflektor | 30 | 5 | Smält kiseldioxid | HR@1030-1090nm, AOI: 45° |
| Fiberreflektor | 50 | 10 | Smält kiseldioxid | HR@1030-1090nm, AOI: 45° |
| 532 Reflektor | 25,4 | 6 | Smält kiseldioxid | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 532 Reflektor | 25,4 | 6,35 | Smält kiseldioxid | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 532 Reflektor | 30 | 5 | Smält kiseldioxid | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 532 Reflektor | 50 | 10 | Smält kiseldioxid | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 355 Reflektor | 25,4 | 6 | Smält kiseldioxid | HR@355nm och 433nm, AOI: 45° |
| 355 Reflektor | 25,4 | 6,35 | Smält kiseldioxid | HR@355nm och 433nm, AOI: 45° |
| 355 Reflektor | 25,4 | 10 | Smält kiseldioxid | HR@355nm och 433nm, AOI: 45° |
| 355 Reflektor | 30 | 5 | Smält kiseldioxid | HR@355nm och 433nm, AOI: 45° |
Galvo-spegel
| Delbeskrivning | Maximal ingångspupill (mm) | Material | Beläggning | Våglängd |
| 55 mm L * 35 mm B * 3,5 mm T-X 62 mm L * 43 mm B * 3,5 mm T-Y | 30 | Kisel | MMR@10.6um | 10,6 um |
| 55 mm L * 35 mm B * 3,5 mm T-X 62 mm L * 43 mm B * 3,5 mm T-Y | 30 | Smält kiseldioxid | HF@1030-1090nm | 1030–1090 nm |
| 55 mm L * 35 mm B * 3,5 mm T-X 62 mm L * 43 mm B * 3,5 mm T-Y | 30 | Smält kiseldioxid | HR@532nm | 532 nm |
| 55 mm L * 35 mm B * 3,5 mm T-X 62 mm L * 43 mm B * 3,5 mm T-Y | 30 | Smält kiseldioxid | HR@355nm | 355 nm |
Skyddande lins
| Diameter (mm) | Tjocklek (mm) | Material | Beläggning |
| 75 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 80 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x60 | 5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x64 | 2,5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x70 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
