Dynamisk skanning Optisk system Optik: 1 st litet fokuslins 、 1-2st Focus Lens 、 Galvo Mirror. Hela optiska linsen bildar en funktion av strålutvidgning, fokusering och balkavböjning och skanning.
Den expanderande delen är en negativ lins, dvs liten fokuslins, som inser strålutvidgning och rörande zoom, fokuseringslinsen består av en grupp positiva linser. Galvo -spegeln är spegel i Galvanometer -systemet.
(1) Optimering av linsdesign: Optimalt förhållande mellan diameter till tjocklek
(2) Lens Hög skadeströskel:> 30J/cm2 10NS
(3) Ultra-låg absorptionsbeläggning, absorptionshastighet: <20ppm
(4) Galvanometer Tjocklek till diameterförhållande: 1 ：35
(5) Linsytans noggrannhet: <= λ/5
Efter objektivlins
| Max entré Elev (mm) | Optik 1 diameter (mm) | Optics 2 diameter (mm) | Optics 3 diameter (mm) | Fältfält (mm) | Rensning av öppning av skanner (mm) | Våglängd |
| 8 | 15 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 10.6um |
| 12 | 22 | 55 | 55 | 1600x1600 | 30 | |
| 8 | 16 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 1030-1090NM |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 532nm |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 355nm |
Reflektorspegel
| Delbeskrivning | Diameter (mm) | Tjocklek (mm) | Material | Beläggning |
| Kiselreflektor | 25.4 | 3 | Kisel | HR@10.6um,AOI: 45 ° |
| Kiselreflektor | 30 | 4 | Kisel | HR@10.6um,AOI: 45 ° |
| Fiberreflektor | 25.4 | 6.35 | Smält kiseldioxid | HR@1030-1090NM ， AOI: 45 ° |
| Fiberreflektor | 30 | 5 | Smält kiseldioxid | HR@1030-1090NM ， AOI: 45 ° |
| Fiberreflektor | 50 | 10 | Smält kiseldioxid | HR@1030-1090NM ， AOI: 45 ° |
| 532 reflektor | 25.4 | 6 | Smält kiseldioxid | HR@515-540NM/532NM, AOI: 45 ° |
| 532 reflektor | 25.4 | 6.35 | Smält kiseldioxid | HR@515-540NM/532NM, AOI: 45 ° |
| 532 reflektor | 30 | 5 | Smält kiseldioxid | HR@515-540NM/532NM, AOI: 45 ° |
| 532 reflektor | 50 | 10 | Smält kiseldioxid | HR@515-540NM/532NM, AOI: 45 ° |
| 355 reflektor | 25.4 | 6 | Smält kiseldioxid | HR@355NM & 433NM, AOI: 45 ° |
| 355 reflektor | 25.4 | 6.35 | Smält kiseldioxid | HR@355NM & 433NM, AOI: 45 ° |
| 355 reflektor | 25.4 | 10 | Smält kiseldioxid | HR@355NM & 433NM, AOI: 45 ° |
| 355 reflektor | 30 | 5 | Smält kiseldioxid | HR@355NM & 433NM, AOI: 45 ° |
Galvo -spegel
| Delbeskrivning | Max entré Elev (mm) | Material | Beläggning | Våglängd |
| 55mml*35mmw*3,5 mmt-x 62mml*43mmw*3,5 mmt-y | 30 | Kisel | MMR@10.6um | 10.6um |
| 55mml*35mmw*3,5 mmt-x 62mml*43mmw*3,5 mmt-y | 30 | Smält kiseldioxid | HR@1030-1090NM | 1030-1090NM |
| 55mml*35mmw*3,5 mmt-x 62mml*43mmw*3,5 mmt-y | 30 | Smält kiseldioxid | Hr@532nm | 532nm |
| 55mml*35mmw*3,5 mmt-x 62mml*43mmw*3,5 mmt-y | 30 | Smält kiseldioxid | Hr@355nm | 355nm |
Skyddslins
| Diameter (mm) | Tjocklek (mm) | Material | Beläggning |
| 75 | 3 | Znse | AR/AR@10.6um |
| 80 | 3 | Znse | AR/AR@10.6um |
| 90 | 3 | Znse | AR/AR@10.6um |
| 90x60 | 5 | Znse | AR/AR@10.6um |
| 90x64 | 2.5 | Znse | AR/AR@10.6um |
| 90x70 | 3 | Znse | AR/AR@10.6um |
